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v 樣品尺寸 : 400 mm x 400 mm
v 最小樣品尺寸 : 0.5 mm x 0.5 mm
v 在 2 秒內(nèi)獲得 140 萬個數(shù)據(jù)點
v Warpage 分辨率 <1 µm
v 每秒加熱 3.5oC 攝氏度
v 紅外線加熱和對流冷卻來控制溫度
v 高分辨率測量小型樣品
v XY 軸應(yīng)變 STRAIN 和熱膨脹系數(shù)CTE 計算
v 支持從室溫到 300oC 以下的回流爐溫度模擬,以及-50oC 至 300oC 度可靠性測試選項
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