透射電鏡樣品桿清洗機(jī)

簡要描述：一、產(chǎn)品介紹CIF透射電鏡（TEM）樣品桿清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程離子清洗源設(shè)計(jì)，清洗快速高效，低轟擊損傷，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)常規(guī)等離子清洗

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更新時(shí)間

2024-10-22

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

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一、產(chǎn)品介紹

CIF透射電鏡（TEM）樣品桿清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程離子清洗源設(shè)計(jì)，清洗快速高效，低轟擊損傷，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)常規(guī)等離子清洗。主要用于TEM透射電鏡樣品桿的等離子體清洗和真空檢漏。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

u 遠(yuǎn)程離子清洗源

u 一機(jī)多用

u 清洗快速高效，低轟擊損傷

三、技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號	CIF-TEM
等離子電源	13.56MHz等離子射頻電源，射頻功率5-120W可調(diào)
等離子電源	遠(yuǎn)程等離子源，自動匹配器
清洗室	清洗室尺寸?180xH100mm
清洗數(shù)量	可同時(shí)清洗3支TEM樣品桿
適配品牌	THERMO FISHER（FEI）、日立HITACHI、捷歐路JEOL
氣體控制	標(biāo)配單路質(zhì)量流量計(jì)（MFC）可選雙路。50毫升/分，自動控制氣體流量，不會受環(huán)境溫度和壓力變化影響
氣源選擇	根據(jù)需求氧氣、氬氣、氮?dú)?、氫氣等多種清洗氣源選擇
真空控制	質(zhì)量流量計(jì)（MFC），皮拉尼真空計(jì)，測量范圍1E-5Torr
真空保證	真空計(jì)和電磁閥安全互鎖
操控方式	7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動操作界面
真空泵	前級泵
	抽氣速率2 L/s
	分子泵
	極限真空:CF:5x10-6Pa，ISO-K: 3x10-5Pa
	分子泵抽速>80L/s （N2）
	入口法蘭：DN100CF/DN100 ISO-K
質(zhì)量保證	二年質(zhì)保，終身維護(hù)
電源	220V，50/60Hz，300W