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PRODUCT CLASSIFICATION相關(guān)文章
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v 加工尺寸:4inch、6inch
v 加工速度:1000mm/s
v 加工精度:±1μm
v 平臺參數(shù):行程300mm×300mm
v 重復(fù)定位精度:±0.001mm
v 激光器參數(shù):紫外
v 稼動率:98%以上
v 重大故障間隙時間:>1000H
v 良率:≥99.5%