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v 樣品尺寸:8英寸
v 濺射源:強(qiáng)磁靶、永磁靶,數(shù)量根據(jù)用戶定制
v 電源:直流電源、射頻電壓
v 真空系統(tǒng):超高真空
v 樣品臺(tái)加熱:至1100℃
v 控制系統(tǒng):全自動(dòng)控制
v 進(jìn)樣室:根據(jù)用戶需求定制