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v 0.1 fA – 1 A 和 0.5 µV – 200 V 精準測量范圍
v 點測量和掃描測量功能
v 脈沖點測量和掃描測量,最小脈寬達 500 µs
v ASU(自動傳感和開關(guān)單元)可以與 HRSMU 配合使用,提供 0.1 fA 的測量分辨率和 SMU/AUX 路徑切換
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