Nikon S205C掃描式光刻機(jī)

簡(jiǎn)要描述：NikonS205C1

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更新時(shí)間

2024-10-22

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詳細(xì)介紹

Nikon S205C

1.Nikon S205C掃描式光刻機(jī)

光源波長(zhǎng)248nm

分辨率優(yōu)于0.15µm

主要用于8寸及12寸生產(chǎn)線

廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域

2.產(chǎn)品詳情

主要技術(shù)指標(biāo)

分辨率0.15µm

N.A.0.75

曝光光源248nm

倍率4:1

曝光現(xiàn)場(chǎng)25mm*33mm

對(duì)準(zhǔn)精度

LSA：35nm

FIA：40nm

3.更多服務(wù)

提供中英文軟件及8"、12"設(shè)備硅片改造

常年提供所有備件、耗材

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