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Nikon NSR 2005i9C步進式光刻機

簡要描述:NikonNSR2005i9C1

基礎信息

產(chǎn)品型號

廠商性質

代理商

更新時間

2024-10-22

瀏覽次數(shù)

84
詳細介紹

Nikon NSR 2005i9C

1.Nikon NSR 2005i9C步進式光刻機

光源波長365nm

分辨率優(yōu)于0.45µm

用于2寸、4寸、6寸、8寸生產(chǎn)線

廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域

2.產(chǎn)品詳情

主要技術指標

分辨率0.45µm

N.A.0.57

曝光光源365nm

倍率5:1

曝光現(xiàn)場20mm*20mm

對準精度

LSA:120nm

FIA:130nm


3.更多服務

提供中英文軟件及2"、4"、6"、8"設備硅片改造

常年提供所有備件、耗材


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