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1.Nikon NSR 2005i9C步進式光刻機
光源波長365nm
分辨率優(yōu)于0.45µm
用于2寸、4寸、6寸、8寸生產(chǎn)線
廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域
2.產(chǎn)品詳情
主要技術指標
分辨率0.45µm
N.A.0.57
曝光光源365nm
倍率5:1
曝光現(xiàn)場20mm*20mm
對準精度
LSA:120nm
FIA:130nm
3.更多服務
提供中英文軟件及2"、4"、6"、8"設備硅片改造
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