Nikon EX14C步進(jìn)式光刻機(jī)

簡(jiǎn)要描述：NikonEX14C1

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產(chǎn)品型號(hào)

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2024-10-22

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Nikon EX14C

1.Nikon EX14C步進(jìn)式光刻機(jī)

光源波長(zhǎng)248nm

分辨率優(yōu)于0.25µm

主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產(chǎn)線

廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域

2.產(chǎn)品詳情

主要技術(shù)指標(biāo)

分辨率0.25µm

N.A.0.6

曝光光源248nm

倍率5:1

曝光現(xiàn)場(chǎng)22mm*22mm

對(duì)準(zhǔn)精度

LSA：55nm

FIA：65nm

3.更多服務(wù)

提供中英文軟件及2"、4"、6"、8"設(shè)備硅片改造

常年提供所有備件、耗材

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