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Canon FPA5000 ES4掃描式光刻機(jī)

簡(jiǎn)要描述：CanonFPA5000ES41

基礎(chǔ)信息

產(chǎn)品型號(hào)

廠商性質(zhì)

代理商

更新時(shí)間

2024-10-22

瀏覽次數(shù)

69
詳細(xì)介紹

Canon FPA5000 ES4

1.Canon FPA5000 ES4掃描式光刻機(jī)

光源波長(zhǎng)248nm

分辨率優(yōu)于0.13µm

用于6寸、8寸及12寸生產(chǎn)線

廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域

2.產(chǎn)品詳情

主要技術(shù)指標(biāo)

分辨率0.13µm

N.A.0.5-0.8

曝光光源248nm

倍率4:1

曝光現(xiàn)場(chǎng)26mm*33mm

對(duì)準(zhǔn)精度25nm


3.更多服務(wù)

提供中英文軟件及6" 、8"、12"設(shè)備硅片改造

常年提供所有備件、耗材


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