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v 電流測量精度≤0.1 fA,最小可測量電流≤20 fA
v 電流測量量程≥0.1 A,輸出功率≥2 W
v 電流測量精度10 fA時(shí),電流表的最短采樣時(shí)間間隔100 μs
v I-V特性測試及C-V特性測試切換時(shí),無須更改電路
v 實(shí)現(xiàn)不同頻率交流阻抗測量(C-V、C-f、C-t) 的測量,頻率范圍1 kHz-5 MHz,最小頻率步進(jìn)≤1 mHz
v 電容測量精度≤5 fF (1 MHz)、≤10 fF(5 MHz)
v 電容測量范圍5 fF-1 nF,電壓0至±25V,步進(jìn)≤1 mV
v 具有脈沖輸出及采集模塊,脈沖輸出電壓峰值10 V
v 脈沖采樣采樣率≥200 MSa/s,最小采樣時(shí)間5 ns
v 具有瞬態(tài)波形捕獲模式
v 具有任意波形發(fā)生器,支持多電平脈沖波形,可編程分辨率10 ns