Product
當(dāng)前位置:首頁 / 產(chǎn)品中心 / / / 聚焦離子束系統(tǒng)FIB
產(chǎn)品型號(hào)
廠商性質(zhì)
更新時(shí)間
瀏覽次數(shù)
產(chǎn)品分類
PRODUCT CLASSIFICATION相關(guān)文章
RELATED ARTICLESv FIB是將離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過離子槍加速,聚焦后作用于樣品表面,應(yīng)用于:產(chǎn)生二次電子信號(hào)取得電子像,此功能與SEM相似,用強(qiáng)電流離子束對表面原子進(jìn)行剝離,以完成微、納米級(jí)表面形貌加工,通常是以物理濺射的方式搭配化學(xué)氣體反應(yīng),有選擇性的剝除金屬,氧化硅層或沉積金屬層
v 芯片領(lǐng)域應(yīng)用:IC芯片電路修改,Cross-Section 截面分析,FIB透射電鏡樣品制備,材料鑒定
v 液態(tài)金屬離子源:分辨率3nm@30kv 120nm@1kv
v 檢測器:Inlens SE、Inlens EsB、VPSE(可變氣壓二次電子探測器)、SESI(二次電子二次離子探測器)、aSTEM(掃描透射電子探測器)、aBSD(背散射探測器)