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v FOWLP優(yōu)化熱拆鍵合技術(shù)
v 全自動(dòng)脫膠
v FOWLP晶圓翹曲控制和監(jiān)測(cè)
v FOWLP晶圓正面標(biāo)記
v 全自動(dòng)翹曲矯正模式
v 晶圓尺寸:300/330 mm
v 溫度控制:20~240℃ ±2℃
v 裝載和卸載:手動(dòng)/全自動(dòng)
v 翹曲處理能力:輸入翹曲:10 mm 矯正后的翹曲:<1 mm
v 晶圓傳輸系統(tǒng):三溫?zé)o接觸傳輸
v ESD控制:帶有自動(dòng)反饋傳感器的電離器
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